不太理解您的问题！

但说到扫描范围，一般扫描电镜最低放大倍数为10倍左右，直接对应的样品上的扫描范围12mm左右，因为显示尺寸一定，所以放大倍数越高，扫描范围越小。更大范围的扫描需要通过调节样品台XYR轴实现。目前中档扫描电镜的样品仓和样品台的配置一般可以容纳6英寸直径的样品，大约为150mm，并且对所有部位进行扫描。直径大于6英寸的样品，最多也只能扫描6英寸，但也有可能受到样品仓尺度或者探测器位置的限制，反而连6英寸扫描范围都达不到。扫描电镜观察，对于块状样品一般都需要切割取样，以适应样样品台和样品仓的要求，对于不能破损取样的整个样品，只能按照最大样品的尺寸来选择更高配置的扫描电镜。例如目前最大12英寸的晶圆，不能切割，要全方位扫描，只能选择最大号的样品仓扫描电镜。但样品仓的增大会提高很多采购成本，甚至翻倍。